X射線熒光光譜儀分析具有制樣簡單、分析速度快、分析含量范圍寬、重現(xiàn)性好、準確度高等特點，近年來，隨著X射線熒光光譜分析技術的不斷推廣，利用X射線熒光光譜儀分析檢測已成為各行業(yè)質量檢測的主要手段。

X射線熒光光譜儀（X-ray Fluorescence Spectrometer，簡稱：XRF光譜儀），是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。XRF用X光或其他激發(fā)源照射待分析樣品，樣品中的元素之內層電子被擊出后，造成核外電子的躍遷，在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時候，會放射出特征的X光；不同的元素會放射出各自的特征X光，具有不同的能量或波長特征。檢測器接受這些X光，儀器軟件系統(tǒng)將其轉為對應的信號，這一現(xiàn)象廣泛用于元素分析和化學分析。

X射線熒光光譜儀可以分析的元素范圍廣泛，從4Be到92U均可檢測，譜線簡單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法比較簡單。分析濃度的范圍也較寬，從常量到微量都可以分析，分析的樣品也不被破壞，分析結果快速、準確、操作方便簡單。

主要用途有：油品和燃料、塑料、橡膠、紡織品、藥品、食品、化妝品和身體護理產品、化肥、礦物、礦石、巖石、沙、爐渣、水泥、耐熱材料、玻璃、陶瓷、晶片；紙張、膠片、聚酯和金屬的涂層測定。