X射線熒光光譜儀是光譜儀的一種，因采用X射線為檢測原理而因此得名，今天小編就來為大家講解下這款儀器的基本操作步驟和注意事項，供大家參考。

　　X射線熒光光譜儀基本的使用步驟：

　　1、開機

　　①開啟斷電保護開關，同時檢查有無異常現象，如有跳閘情況出現，應查明原因；

　?、陂_啟穩壓電源開關，如是UPS，則后面的旁路開關必須處于關閉狀態；

　?、坶_啟儀器主機電源開關，主機就緒后開啟計算機，打開儀器附件，連接就緒后運行儀器工作站，檢查儀器連接有無異常，檢查儀器真空度。

　?、茼槙r針90°擰動主機前的鑰匙開啟高壓開關，檢查X光管冷卻水流量、液氮的液位以及溫度，正常后開啟探測器高壓。

　　⑤儀器穩定后對儀器進行校正，了解儀器的運行狀況。

　　2、關機

　?、贅悠窚y試完畢，保存好測試文檔之后，關閉探測器高壓，逆時針90°擰動主機前的鑰匙關閉高壓開關，退出工作站，關閉所有運行程序。

　?、陉P閉計算機主機。

　?、郯错樞蛞来侮P閉顯示器等儀器附件、儀器主機、穩壓電源的電源開關，就緒后關閉總電源開關。

　　3、X光管的老化由于儀器停機時間太長或x光管初次使用時，馬上加載高壓大電流使用，容易損壞X光管，所以必須進行X光管老化處理。如停機時間大于24h但小于100h，應進行0．5h的老化處理，如停機時間大于100h，應進行3h的老化處理。長時間不開高壓，開高壓時儀器會自動進行3h的長時間老化。

　　4、填充液氮正常工作狀態下，應根據液氮消耗情況按時填充液氮。采用增壓的方式填充液氮，填充液氮時，為防止液氮飛濺，液氮罐的出口壓力應小于1MPa(0．5～1MPa)。當液氮在已經用完的情況下再填充時，為防止液氮罐內部殘留的水滴結冰，影響探測器效率，要確保儀器液氮罐內沒有水且探測器達到室溫1h后方可填充液氮。
 

　　X射線熒光光譜儀使用時的注意事項：

　　1、樣品檢測前，為了減少雜質對結果的影響，應該對樣品進行盡可能的清潔處理。選用清潔試劑時，要極為慎重，以免對樣品產生影響。

　　2、為了防止樣品不同區域的狀態有所不同，需要對同一樣品多點測量，以提高測量的可信度，即注意采樣點的合理性。

　　3、對同一樣品進行多次測試，以證明檢測方法的精密度。

　　4、初期的數據需要用不同的檢測方法和實驗進行比對，以保證測量數據的準確性、可靠性。采用有損檢測方法例如化學分析法，這時候需要對不重要的樣品進行分析、對比儀器的檢測結果。

　　5、選取標樣時盡可能地與樣品的組成相近。

　　6、X射線熒光光譜法是一種表面分析技術，其分析結果受樣品表面大小、光潔度和幾何形狀的影響較大。校正公式和校正系數的建立也需要總結。